一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究

刘双峰; 马铁华; 甘潦; 徐晟

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究

电子与电子信息 | 更新时间：2026-09-14

- 一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究
- Research on Sensitive Electrode in Novel Capacitive Accelerometer
- 中北大学学报（自然科学版） 2011年32卷第2期页码：218-221
- 作者机构：
  
  1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
  2. 中国人民解放军驻061基地军事代表室
  3. 中北大学经济与管理学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
移动端阅览
刘双峰, 马铁华, 甘潦, 等. 一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究[J]. 中北大学学报（自然科学版）, 2011,32(2):218-221.

刘双峰, 马铁华, 甘潦, et al. Research on Sensitive Electrode in Novel Capacitive Accelerometer[J]. 2011, 32(2): 218-221.
刘双峰, 马铁华, 甘潦, 等. 一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究[J]. 中北大学学报（自然科学版）, 2011,32(2):218-221. DOI：

刘双峰, 马铁华, 甘潦, et al. Research on Sensitive Electrode in Novel Capacitive Accelerometer[J]. 2011, 32(2): 218-221. DOI：

摘要

针对现有加速度传感器在测试时相对于高冲击后可能导致丧失高灵敏度的性能

提出了一种新型电容式加速度传感器.该传感器利用水银作为液体敏感电极代替传统的固体敏感电极

结构简单.实验证明:该传感器性能良好

线性度为6.52%

灵敏度为0.501 p f/g

重复性为1.45%

可广泛应用于抗高过载低量程方面的加速度测试.

Abstract

For the existing accelerometers may lose their high sensitive performance when suffers high shock

a novel capacitive accelerometer was proposed.Traditionally used solid sensitive electrode was replaced by mercury one

which was liquid state and simply structured.The experimental results showed high resolution of the accelerometer

with the linearity of 6.52%

sensitivity of 0.501 pf/g

and repeatability of 1.45%.It could be used in the acceleration measurement of low range under circumstances of high overload.

关键词

Keywords

references

Chau K H L,Lewis S R.An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low g applicatio[J].Sensors andActuators A,1996,54:472-476.

Lemkin M,Boser B E.A micro machined fully differential lateral accelerometer[C].IEEE 1996 Custom IntegratedCircuits Conf.,1996:135-318.

Henrik Rdje。gard,Anders Lf.A differential charge-transfer readout circuit for multiple output capacitive sensors[J].Sens.Actuators A,2005,119:309-315.

Moojin Kim,Wonkyu Moon,Euisung Yoon,et al.A new capacitive displacement sensor with high accuracy andlong-range[J].Sensors and Actuators A,2006,130-131:135-141.

Hou Ansang,Su San,Su Xiaoping.Design of a capacitive-sensor signal processing system with high accuracy andshort conversion time[J].Sensors and Actuators A,2005,119:113-119.

Henrik Rdje°gard,Christer Johansson,Peter Enoksson.A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniformsensitivity[J].Sensors and Actuators A,2005,123-124:50-53.

Kammer D C.Sensor set expansion for modal vibration testing[J].Mechanical Systems and Signal Processing,2005,19:700-713.

Tay F E H,Xu J,Logeeswaran V J.A differential capacitive low-g microaccelerometer with m g resolution[J].Sensors and Actuators A,2000,86:45-51.

Puers R,Reyntjens S.Design and processing experiments af a new miniaturized capacitive triaxial accelerometer[J].Sensors and Actuators A,1998,68:324-328.

Liu Shuangfeng,Ma Tiehua.A research of capacitive sensor preparation utilize alumina film[C].6th InternationalSymposium on Test and Measurement,2005:3844-3846.

Liu Shuangfeng,Ma Tiehua.Design and fabrication of a new miniaturized capacitive accelerometer[J].Sensors andActuators A,Physical,2008,147(1):70-74.

浏览量

145

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于约瑟夫逊效应的高g值高分辨率加速度计的设计与仿真

非水介质中制备纳米Al_2O3的研究

一种电容式闭环微加速度计系统研究

火箭弹滚转角测量方法研究

超重力强化氢氧化钾耦合甘氨酸钾溶液脱除密闭空间CO2的研究